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Robô de Manuseio de Wafer

Com base na tecnologia pioneira do robô delta paralelo inteligente de alta velocidade, a Robotphoenix inventou novos robôs paralelos 4-DOF de plataforma única e plataforma dupla, que rompeu o gargalo para realizar um ângulo de oscilação maior e maior velocidade de saída no mecanismo paralelo de loop multi-fechado. O ângulo do robô de plataforma dupla pode atingir pelo menos ± 180 ° e, sob carga útil de 0,1 kg, a batida de viagem mais rápida da corrida na trajetória padrão em forma de porta pode atingir 0,28 s. A aceleração máxima é de 15g.

Diferentes tipos de robô de manipulação de wafer

Lobster200Z300S-T0X5-C Robô Wafer

  • Robô de um braço; comprimento do braço 200mm;

  • Carga útil de 0,5 kg;

  • Precisão de reposicionamento ± 0,1mm. Sua limpeza atinge a classe 100, adequada para aplicações atmosféricas.

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Lobster185Z340D-T2X0-C Robô Wafer

  • Robô de dois braços; comprimento do braço 185mm;

  • Carga útil 2kg;

  • Precisão de reposicionamento ± 0,1mm. Sua limpeza atinge a classe 100, adequada para aplicações atmosféricas.

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Lobster200Z300S-T0X5-V Robô Wafer

  • Robô de um braço; comprimento do braço 200mm;

  • Carga útil de 0,5 kg;

  • Precisão de reposicionamento ± 0,1mm. Sua limpeza atinge ISO Class1, adequado em um ambiente de vácuo.

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Robô de manipulação de wafer para demandas ambientais específicas

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Lobster200Z300S-TOX5-C robô de manuseio de wafer de um braço e Lobster185Z340D-T2XO-C robô de transferência de wafer de dois braços são adequados para aplicações atmosféricas.

2

Lobster200Z300S-TOX5-V robô de manuseio de wafer de um braço se encaixa em um ambiente de vácuo.

Características do robô de manipulação de wafer

Características do robô de manipulação de wafer
Características do robô de manipulação de wafer

O robô de manuseio de wafer auto-desenvolvido porRobotphoenixAtinge uma precisão de reposicionamento de 3μm, que atinge maior precisão em comparação com outros produtos semelhantes de aproximadamente 20μm. Os robôs de manuseio de wafer da série lagosta são um tipo deRobôs industriais para a vendaQue incluem modelos de braço único, braço duplo e aspirados e podem ser usados em vários cenários de manuseio de wafer de semicondutores.

Biblioteca de vídeo robô de manipulação de wafer

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