Lobster200Z300S-T0X5-V Robô Wafer

Tipo

Um-armado

Especificação aplicada

~ 300

Carga útil nominal

0,5 KG

Grau de Liberdade

3

Faixa de movimento

Eixo de elevação (Z)

300mm

Eixo rotativo (T)

340reg

Eixo de alongamento (R)

400mm

Velocidade máxima

Eixo de elevação (Z)

300 mm/s

Eixo rotativo (T)

400deg/sec

Eixo de alongamento (R)

700 mm/s

Características

1) Ambiente de vácuo.

2) Comprimento robótico do braço: 200mm.

3) Drive direto, estrutura compacta

4) Sensor de mapeamento para detectar se existem bolachas, se sobrepostas ou inclinadas.

5) As especificações podem ser personalizadas de acordo com exigências.

Precisão de reposicionamento

± 0,1mm

Taxa de vazamento

1*10E-6 Pa

Limpeza

ISO Class1

Interface

I/O interface

4 entradas digitais configuráveis;

4 saídas digitais configuráveis;

8 entradas digitais gerais;

8 saídas digitais gerais;

(Re-extensível 8 entradas/saídas digitais).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocolo de comunicação

Modbus-RTU/TCP, soquete

Comprimento do braço (R)

200mm

Curso vertical (Z)

150mm

Altura da tabela da máquina (H)

868mm

Comprimento do atuador (L)

Baseado na demanda

Altura da mesa à posição para baixo do traço (H)

120mm