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Lobster200Z300S-T0X5-C Robô Wafer

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wafer handling robot

O robô de manuseio de wafer da série de lagosta 200Z300S-T0X5 é um robô de transferência de wafer de braço único com uma carga útil de 0,5 kg. Tem extremamente alta precisão, flexibilidade e segurança.

Especificação do robô Lobster200Z300S-T0X5-C da bolacha


Modelo

Lobster200Z300S-T0X5-C

Tipo

Um-armado

Especificação aplicada

~ 300

Carga útil nominal

0,5 KG

Grau de Liberdade

3

Faixa de movimento

Eixo de elevação (Z)

300mm

Eixo rotativo (T)

340reg

Eixo de alongamento (R)

400mm

Velocidade máxima

Eixo de elevação (Z)

400 mm/s

Eixo rotativo (T)

260graus/sec

Eixo de alongamento (R)

1700 mm/s

Características

1) Ambiente de sala limpa.

2) Comprimento robótico do braço: 200mm.

3) Os eixos inteiros adotam motores servo para atender às necessidades de manuseio de alta velocidade.

4) Sensor de mapeamento para detectar se existem bolachas, se sobrepostas ou inclinadas.

5) As especificações podem ser personalizadas de acordo com exigências.

Precisão de reposicionamento

± 0,1mm

Taxa de vazamento

-

Limpeza

Classe 100

Interface

I/O interface

4 entradas digitais configuráveis;

4 saídas digitais configuráveis;

8 entradas digitais gerais;

8 saídas digitais gerais;

(Re-extensível 8 entradas/saídas digitais).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocolo de comunicação

Modbus-RTU/TCP, soquete

Comprimento do braço (R)

200mm

Curso vertical (Z)

300mm

Altura da tabela da máquina (H)

620mm

Comprimento do atuador (L)

Baseado na demanda

Altura da mesa à posição para baixo do traço (H)

128mm



Características do robô Lobster200Z300S-T0X5-C da bolacha

  • Único-armado;

  • A carga útil é de 0,5 kg;

  • 3-graus-de-liberdade;

  • A precisão de reposicionamento atinge ± 0,1mm;

  • Limpeza atinge Class100.


Desenho técnico do robô wafer Lobster200Z300S-T0X5-C

Desenho técnico do robô wafer Lobster200Z300S-T0X5-C

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