O robô de manuseio de wafer da série de lagosta 200Z300S-T0X5 é um robô de transferência de wafer de braço único com uma carga útil de 0,5 kg. Tem extremamente alta precisão, flexibilidade e segurança.
Especificação do robô Lobster200Z300S-T0X5-C da bolacha
Modelo
Lobster200Z300S-T0X5-C
Tipo
Um-armado
Especificação aplicada
~ 300
Carga útil nominal
0,5 KG
Grau de Liberdade
3
Faixa de movimento
Eixo de elevação (Z)
300mm
Eixo rotativo (T)
340reg
Eixo de alongamento (R)
400mm
Velocidade máxima
Eixo de elevação (Z)
400 mm/s
Eixo rotativo (T)
260graus/sec
Eixo de alongamento (R)
1700 mm/s
Características
1) Ambiente de sala limpa.
2) Comprimento robótico do braço: 200mm.
3) Os eixos inteiros adotam motores servo para atender às necessidades de manuseio de alta velocidade.
4) Sensor de mapeamento para detectar se existem bolachas, se sobrepostas ou inclinadas.
5) As especificações podem ser personalizadas de acordo com exigências.
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