O robô de manuseio de wafer da série de lagosta 185Z340D-T2X0-C é um robô de transferência de wafer de dois braços com uma taxa de carga útil de 2kg. Equipado com um sistema de transferência de wafer de alta tecnologia, tem extremamente alta precisão, flexibilidade e segurança.
Especificação do robô Lobster185Z340D-T2X0-C da bolacha
Modelo
Lobster185Z340D-T2X0-C
Tipo
Dois-armados
Especificação aplicada
~ 300
Carga útil nominal
2KG
Grau de Liberdade
4
Faixa de movimento
Eixo de elevação (Z)
340mm
Eixo rotativo (T)
340reg
Eixo de alongamento (R)
360mm
Velocidade máxima
Eixo de elevação (Z)
400 mm/s
Eixo rotativo (T)
260graus/sec
Eixo de alongamento (R)
1500 mm/s
Características
1) Ambiente de sala limpa.
2) Comprimento robótico do braço: 135mm; 185mm.
3) A estrutura de dois braços encurta o tempo de operação da substituição da bolacha.
4) Sensor de mapeamento para detectar se existem bolachas, se sobrepostas ou inclinadas.
5) As especificações podem ser personalizadas de acordo com exigências.
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