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Lobster185Z340D-T2X0-C Robô Wafer

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semiconductor wafer handling
wafer handling automation

O robô de manuseio de wafer da série de lagosta 185Z340D-T2X0-C é um robô de transferência de wafer de dois braços com uma taxa de carga útil de 2kg. Equipado com um sistema de transferência de wafer de alta tecnologia, tem extremamente alta precisão, flexibilidade e segurança.

Especificação do robô Lobster185Z340D-T2X0-C da bolacha


Modelo

Lobster185Z340D-T2X0-C

Tipo

Dois-armados

Especificação aplicada

~ 300

Carga útil nominal

2KG

Grau de Liberdade

4

Faixa de movimento

Eixo de elevação (Z)

340mm

Eixo rotativo (T)

340reg

Eixo de alongamento (R)

360mm

Velocidade máxima

Eixo de elevação (Z)

400 mm/s

Eixo rotativo (T)

260graus/sec

Eixo de alongamento (R)

1500 mm/s

Características

1) Ambiente de sala limpa.

2) Comprimento robótico do braço: 135mm; 185mm.

3) A estrutura de dois braços encurta o tempo de operação da substituição da bolacha.

4) Sensor de mapeamento para detectar se existem bolachas, se sobrepostas ou inclinadas.

5) As especificações podem ser personalizadas de acordo com exigências.

Precisão de reposicionamento

± 0,1mm

Taxa de vazamento

-

Limpeza

Classe 100

Interface

I/O interface

4 entradas digitais configuráveis;

4 saídas digitais configuráveis;

8 entradas digitais gerais;

8 saídas digitais gerais;

(Re-extensível 8 entradas/saídas digitais).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocolo de comunicação

Modbus-RTU/TCP, soquete

Comprimento do braço (R)

185mm

Curso vertical (Z)

340mm

Altura da tabela da máquina (H)

605mm

Comprimento do atuador (L)

Baseado na demanda

Altura da mesa à posição para baixo do traço (H)

250mm


Características do robô de transferência de wafer Lobster185Z340D-T2X0-C

  • Dois-armados; a carga útil é de 2kg;

  • 4-graus-de-liberdade;

  • A precisão de reposicionamento atinge ± 0,1mm;

  • Limpeza atinge Class100.


Desenho técnico do robô wafer Lobster185Z340D-T2X0-C

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